Rest Gas Analysis (RGA)
Grade 2 machine onderdelen moeten gevalideerd worden met een RGA meting. Hierbij worden de producten in een vacuüm ketel gelegd die vervolgens wordt afgepompt tot een druk van ca 1E-7 mbar.
Tijdens deze meting wordt de druk en de outgassing van vluchtige- en niet vluchtige koolwaterstof verbindingen gemeten. Na 10 uur, of als de specificatie gehaald is eerder, wordt het meetproces gestopt. De waarden die dan behaald zijn, H2O – CxHy v – CxHy nv, worden genoteerd in het RGA rapport. Dit rapport wordt meegeleverd met de batch producten als bewijs dat de RGA binnen specificatie is.
Hierna volgt een UV- en bright light inspectie op deeltjes. Met UV zijn deeltjes vanaf 40-50 mu zichtbaar, met helder scherend licht vanaf 10-20 mu.
Total Organic Carbon (TOC) Analysis
Grade2 Gaspurity / TOC validatie vind plaats d.m.v. een TOC (Total Organic Carbon) meting, uitgevoerd via een gaschromatograaf met FID detector. Deze meting geeft het totale gehalte aan koolstof weer in TOC vluchtig (TOC v) en TOC niet vluchtig (TOC nv). Dit kan dan getoetst worden aan de specificatie.
Het meten gebeurt m.b.v een tenax buisje waar doorheen met een pompje en een massa controler gedurende zekere tijd een bepaalde massa lucht uit de gas kanalen wordt gepompt. Aanwezige koolstof verbindingen worden opgenomen en chemisch gebonden aan het tenax materiaal. Hierna wordt het buisje verhit in een gaschromatograaf waardoor de koolstof verbindingen “ verdampen” en gemeten kunnen worden.
Het meten gebeurt met een Flame Ionisatie Detector (FID). De koolstof die samen met het drijfgas stikstof wordt meegevoerd wordt verbrand door een waterstof/lucht vlam. Door verbranding worden ionen gevormd in een hoeveelheid evenredig aan het koolstof , deze ionen worden omgezet in een electronen stroom die gemeten kan worden. Calibratie op basis van stoffen met bekende TOC waarden ;Tolueen en Nonane.
Indien de eisen licht worden overschreden kunnen de kanalen gespoeld worden met XCDA waarna opnieuw een TOC meting volgt. Bij sterke overschrijding van de eisen kan besloten worden tot re-claning.
Als laatste volgt een UV- en bright light inspectie op deeltjes. Met UV zijn deeltjes vanaf 40-50 mu zichtbaar, met helder scherend licht vanaf 10-20 mu
Particle Measurement Card (PMC)
De validatie op deeltjes gebeurt vooralsnog voornamelijk kwalitatief met het oog onder bright en/of UV licht condities. Echter zien we een trend in het vastleggen van deze metingen in rapportages en zien we de te meten deeltjes-grootte afnemen.
Indien een kwantitatieve validatie nodig is kunnen deeltjes aan het oppervlak gemeten worden d.m.v. PCM samples en een deeltjes analyse apparaat.
Deze deeltjesmeter (Partsens) kan zelfs deeltjes tot 5mu registreren waar het blote oog tot maximaal 20-30mu zal komen.
Particle Measurement Card (PMC)
Met een PMC test kunnen we een sample nemen van het oppervlak van een product, hierna wordt dit sample geanalyseerd op aantal en grootte van de deeltjes. Het resultaat van de deeltjesmeting kan kwantitatief uitgedrukt worden in een aantal deeltjes per oppervlakte, inclusief rapport.
In samenwerking met meettechnici van ASML zijn de meetmachines gekalibreerd waardoor de uitgevoerde metingen door ASML geaccepteerd worden als validatie-middel.
Airborn Particle Counting
Om uw cleanroom in goede functionaliteit te houden, is het belangrijk regelmatig uw cleanroon te laten valideren.
Hierbij wordt er middels meetmiddelen een rapportage gemaakt van verschillende meetpunten in uuw cleanroom.
Deze cleanroom validaties worden uitgevoerd door via het VVCN gecertificeerde cleanroom meettechnici.
Zij werken volgens de richtlijnen van het VCCN/CTCB-I voor de cleanroom validatie.