Naast het daadwerkelijk reinigen van producten, bieden we ook diverse andere diensten aan waarmee we reiniging kunnen kwalificeren. Het meten van de reinigingsresultaten en vastleggen daarvan wordt steeds vaker gevraagd. Onder de microscoop zien we beschadigingen en residu tot 5 µm. Voor de verschillende reinigingseisen variëren ook de gebruikte kwalificatiemethoden.

Surface Cleanliness wordt gevalideerd op deeltjes door middel van UV en Bright Light inspectie of met het PMC proces. UV en Bright Light maken deeltje en organische vlekken zichtbaar. Met PMC (Particle Measurement Card) wordt een sample genomen van een gereinigd oppervlak wat daarna wordt geanalyseerd op aantal deeltjes. PMC wordt vooral toegepast voor hele kleine deeltjes die met Bright Light niet meer zichtbaar zijn.

Voor de validatie van Molecular Cleanliness wordt naast UV Light ook meestal een RGA meting gebruikt. Hiermee wordt de uitgassing van een product of samenstelling vastgesteld. Deze uitgassing heeft negatieve invloed op het vacuüm waarin het geassembleerd is.

Validatie op het gebied van Gas Purity vind plaats d.m.v. een TOC (Total Organic Carbon) meting, uitgevoerd via een gaschromatograaf met FID detector. Deze meting geeft het totale gehalte aan koolstof weer in TOC vluchtig (TOC v) en TOC niet vluchtig (TOC nv). Dit kan dan getoetst aan de specificatie. Indien de eisen worden overschreden kunnen de kanalen gespoeld worden met XCDA.